欢迎访问中国科学院重庆绿色智能技术研究院·综合分析测试中心 ——所级公共技术中心
当前位置: 首页 微纳加工测试

微纳加工测试

微纳加工测试

微纳加工测试

微纳加工测试平台建有完善的动力、净化空调及气体保障系统,使用总面积2000平方米的超净实验室,配置了聚焦离子束直写系统、金刚刀车削机、溅射镀膜机等用于微纳加工、光刻工艺等各型仪器16台套。该平台搭建了涵盖制备、加工、表征、测试环节的条件保障体系,具备清洗、光刻、扩散、镀膜、刻蚀、封装和检测等微纳加工领域全流程技术支撑能力,可为科技创新提供纳米、微米宏观尺度任意结构材料及器件的精确制作的全套加工及检测方法等技术支撑服务。支撑的研究工作主要包括:(1)石墨烯纳米器件、紫外到红外全波段微纳光学器件、微纳电子器件、微纳结构特殊功能材料器件、拉曼传感芯片、太赫兹元器件及生物微流控芯片等的制作加工。(2)通过独特的技术,实现石英、硅、金属、塑料等材料特征尺寸(低至5nm)的二维和三维结构的超精密制备,同时可根据研究人员的需求,提供从掩模设计到完成最终成品的整套解决方案。(3)具有五轴加工能力,实现二维及三维任意结构的超精密加工,表面平整度高达3nm,加工线性度误差低于12.5nm/150mm,加工工件尺寸可达350×150×300mm;可加工科研人员独特设计的各种纳米量级精度、微米特征尺寸、宏观尺寸的跨尺度器件,并且也可根据用户的应用需求和技术指标,提供微纳光学元件设计及制作的完整解决方案。

 

设备名称

型号

位置

设备管理员

二元曝光机

ABM/6/350/NUV/DCCD/BSV/M

南超净间

尹杰民

激光直写机

DWL66Fs

南超净间

尹杰民

金刚刀车削机

NANOTECH350FG

南超净间

尹杰民

聚焦离子束直写系统

Nano Fab

南超净间

戴玉洁

模压设备

LMR-3300

北超净间

胡磊

溅射镀膜机

DP650

北超净间

胡磊

自动变焦三维表面测量仪

VHX-6000

207

邱藤森

静电纺丝机

NANON-01A

201

邱藤森

印刷电子喷墨打印机

IJDAS-300

201

邱藤森

矢量网络分析仪

N5234A

306

微纳制造与系统集成研究中心

白光干涉仪

NewView 7100

南超净间

反应离子刻蚀机

LCCP-6A

南超净间

磁增强反应离子刻蚀机

ME-3A

南超净间

电感耦合等离子体刻蚀机

ICP-5000

南超净间

扫描离子数刻蚀机

IBF300

北超净间

集成光电技术研究中心

数控小工具加工机

TRP350

206

附件: